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Santini, Thomas. Contribution à l'étude de la fiabilité des MOSFETs en carbure de silicium. Thèse. Villeurbanne : Institut National des Sciences Appliquées de Lyon, 2016. Disponible à la Bibliothèque Marie Curie.


Domaine(s) : D18 - Electromagnétisme, Electricité, Electronique
Indice Dewey : 621.317 072
Langue : Français
Mots-clés : Electronique, Electronique de puissance, MOSFET SiC, Fiabilité, Durée de vie, Test de dégradation accéléré, Processus gamma, Remaining Useful Life - RUL, Electronics, Power electronics, MOSFET SiC, Reliability, Life time, Accelerated degradation test, Gamme process, Remaining usuel life - RUL



Directeur(s) de thèse : Allard, Bruno
Etablissement de soutenance : INSA de Lyon
Etablissement de co-tutelle : Université de Lyon - 2015-...., École Doctorale Electronique, Electrotechnique, Automatique - Lyon
Laboratoire : Université de Lyon - 2015-...., École Doctorale Electronique, Electrotechnique, Automatique - Lyon, Institut national des sciences appliquées de Lyon - Lyon, AMPERE - Génie Electrique, Electromagnétisme, Automatique, Microbiologie Environnementale et Applications - Lyon, Ecole(s) Doctorale(s) : École Doctorale Electronique, Electrotechnique, Automatique (Lyon), Partenaire(s) de recherche : Institut national des sciences appliquées de Lyon (Lyon) (établissement opérateur d'inscription), AMPERE - Génie Electrique, Electromagnétisme, Automatique, Microbiologie Environnementale et Applications (Lyon) (Laboratoire), Ampère (Laboratoire), Autre(s) contribution(s) : Zoubir Khatir (Président du jury) ; Bruno Allard, Zoubir Khatir, Pierre-Etienne Labeau, Olivier Latry, Mitra Fouladirad, Antoine Grall, Sébastien Morand, Christian Moreau (Membre(s) du jury) ; Pierre-Etienne Labeau, Olivier Latry (Rapporteur(s))
Numéro national de thèse : 2016LYSEI021
Date de soutenance : 2016

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Résumé français : Ces dernières années ont vu apparaître sur le marché les premiers transistors de puissance de type MOSFET en carbure de silicium. Ce type de composant est particulièrement adapté à la réalisation d'équipement électrique à haut rendement et capable de fonctionner à haute température. Néanmoins, la question de la fiabilité doit être posée avant de pouvoir envisager la mise en œuvre de ces composants dans des applications aéronautiques ou spatiales. Les mécanismes de défaillance liés à l oxyde de grille ont pendant longtemps retardé la mise sur le marché des transistors à grille isolée en carbure de silicium. Cette étude s'attache donc à estimer la durée de vie des MOSFET SiC de 1ére génération. Dans un premier temps, le mécanisme connu sous le nom de Time Dependent Dielectric Breakdown(TDDB) a été étudié au travers de résultats expérimentaux issus de la bibliographie. Notre analyse nous a permis de justifier de l'emploi d une loi de Weibull pour modéliser la distribution des temps à défaillance issue de ces tests. Les résultats nous ont également permis de confirmer l'amélioration significative de la fiabilité de ces structures vis-à-vis de ce mécanisme. Dans un second temps, l'impact du mécanisme d'instabilité de la tension de seuil sur la fiabilité a été quantifié au travers de tests de vieillissement de type HTGB. Les données de dégradation ainsi collectées ont été modélisées à l'aide d'un processus gamma non-homogène, qui nous a permis de prendre en compte la variabilité entre les composants testés dans des conditions identiques et de proposer des facteurs d'accélération en tension et en température pour ce mécanisme. Enfin, ces travaux ont permis d'ouvrir la voie à la mise en œuvre d'outils de pronostic de la durée de vie résiduelle pour les équipements électriques.


English abstract : Recent years have seen SiC MOSFET reach the industrial market. This type of device is particularly adapted to the design of power electronics equipment with high efficiency and high reliability capable to operate in high ambient temperature. Nevertheless the question of the SiC MOSFET reliability has to be addressed prior to considering the implementation of such devices in an aeronautic application. The failure mechanisms linked to the gate oxide of the SiC MOSFET have for a long time prevented the introduction of the device. In this manuscript we propose to study the reliability of the first generation of SiC MOSFET. First, the mechanism known as the Time Dependent Dielectric Breakdown is studied through experimental results extracted from literature. Our study shows the successful application of a Weibull law to model the time-to-failure distribution extracted from the accelerated tests. The results show also a significant improvement of the SiC MOSFET structure with respect to this phenomenon. In a second step, the impact of the threshold voltage instability is quantified through accelerated tests known as High Temperature Gate Bias. The collected degradation data are modeled using a non-homogeneous Gamma process. This approach allows taking into account the variability between devices tested under the same conditions. Acceleration factors have been proposed with respect to temperature and gate voltage. Eventually the study delivers a primary estimation of the remaining useful lifetime of the SiC MOSFET in a typical aeronautic application.